振蕩器歷來是由連接到模擬保持電路的石英晶體諧振器制成的,該電路驅動諧振器以特定頻率振動.現在,還有一種替代方案-硅MEMS振蕩器-這些器件在嘈雜的環境中性能優于石英晶體振蕩器.驅動更高速的電信和移動應用對時鐘源提出更高的要求.另外,更復雜的電子設備和更高的時鐘頻率使得時鐘設備在嘈雜的環境中繼續表現良好.本文介紹了在石英晶振和硅MEMS振蕩器上進行的對比實驗的結果.數據表明,MEMS振蕩器在現實環境條件下優于石英晶振.

振蕩器供應商提供每個產品的數據表,說明頻率穩定性,抖動和相位噪聲等性能參數.盡管數據手冊是選擇計時設備的良好指標,但用戶還必須評估這些設備在實際環境條件下的表現.在模擬真實操作環境中所見的條件下進行測試,可以提供有關真實組件性能的有價值信息.受到諸如電磁干擾（EMI）,振動以及來自電源或其他系統組件的環境壓力的有源晶振,石英振蕩器的性能與理想條件下的振蕩器相比將會降低.最終,環境壓力因素可能會降低設備的可靠性和使用壽命.在實際情況下考慮振蕩器的性能非常重要.

硅MEMS振蕩器與石英晶體振蕩器相比具有一些固有的優勢,可以使它們在各種環境中可靠地工作.ILSI MMD開發了MEMSFirstTM工藝,其中諧振器完全封裝在硅中并封裝在微型真空室內.非常小的諧振器質量和剛性硅晶體結構的組合使其具有耐用性,并且非常耐外部應力,如沖擊和振動.此外,振蕩器中優化設計的模擬電路可在電噪聲條件下提供高性能.

圖1中的MEMS振蕩器架構示意圖顯示了有助于提高性能和可靠性的關鍵組件,包括精細調諧的硅MEMS諧振器,振蕩器維持電路,高精度N分頻鎖相環（PLL）以及具有全差分電路.

大多數石英振蕩器供應商都是石英晶體諧振器的專家,但不一定是電路設計.他們通常將模擬電路外包出去,并且必須購買專門用于各種晶體的芯片,而不是針對特定的諧振器進行優化.相比之下,ILSI晶振集團擁有世界級的模擬設計師團隊,他們設計了與ILSI MMD的MEMS振蕩器一起使用的所有電路.ILSI MMD在ILSI MMD振蕩器產品的性能和靈活性方面取得了顯著進步,結果是ILSI MMD的MEMS振蕩器比嘈雜的環境條件下的石英晶體器件更有彈性.